[实用新型]光罩夹具有效
| 申请号： | 201420019263.2 | 申请日： | 2014-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN203720527U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 杨艳全 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种用于夹紧光罩边缘的光罩夹具，包括手柄、与手柄固定在一起的活动夹、和设于光罩夹具内部的弹簧，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。光罩夹具具有能够活动的活动夹，被一弹簧控制，能够夹住光罩的边缘，不会污染所述光罩，同时由于光罩夹具能够牢靠的夹紧所述光罩，防止所述光罩脱落，避免对所述光罩造成损伤，也能够避免对下方的透镜造成破坏，提高了取出光罩的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 | ||
【主权项】：
一种光罩夹具，用于夹紧光罩的边缘，其特征在于，所述夹具包括活动夹、手柄和弹簧，其中，所述活动夹与所述手柄固定在一起，所述弹簧设于所述光罩夹具的内部，所述弹簧与所述活动夹、手柄均相连接。
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