[实用新型]一种石英振梁加速度计

摘要

本实用新型公开了一种石英振梁加速度计，包括加速度敏感元件，所述加速度敏感元件由位于同一平面的U型质量块、振梁、第一挠性桥、第二挠性桥、第一连接块、第一连接梁、隔离框、第二连接梁、第二连接块、第一固定块和第二固定块构成。在加速度敏感元件的上下表面设有上下限位片，上限位片和下限位片两端通过粘接层分别与第一固定块和第二固定块的上下表面粘接固定。上限位片和下限位片位于U型质量块上方和下方且与U型质量块的间距为粘接层的厚度。本实用新型通过限位片，起到对加速度敏感元件质量块运动的位移量限制和阻尼作用，提高了加速度计的抗冲击和抗振动能力，灵敏度也得到进一步的提高。

主权项

一种石英振梁加速度计，包括加速度敏感元件，所述加速度敏感元件（2）由位于同一平面的U型质量块（3）、振梁（4）、第一挠性桥（5a）、第二挠性桥（5b）、第一连接块（6）、第一连接梁（7）、隔离框（8）、第二连接梁（9）、第二连接块（10）、第一固定块（11a）和第二固定块（11b）构成；所述U型质量块开口朝向第一连接块并通过第一挠性桥和第二挠性桥将两者端部连接，所述振梁位于U型质量块和第一连接块合围形成的矩形区域内且振梁两端分别与U型质量块开口中部和第一连接块中部连接；U型质量块和第一连接块位于隔离框（8）内，第一连接块背向振梁的另一面通过第一连接梁与隔离框（8）一条边内侧连接；隔离框（8）上与连接第一连接梁的那条边相对的另一条边的外侧通过第二连接梁（9）与第二连接块（10）连接，第一固定块（11a）和第二固定块（11b）设于第二连接块（10）两侧且相互平行以使三者形成U型结构，隔离框（8）位于该U型结构的腔内；其特征在于：在加速度敏感元件的上下表面设有两正对的上限位片（20）和下限位片（30），上限位片（20）和下限位片（30）两端通过粘接层（40）分别与第一固定块（11a）和第二固定块（11b）的上下表面粘接固定；上限位片（20）和下限位片（30）位于U型质量块（3）上方和下方且与U型质量块（3）的间距为粘接层（40）的厚度。