[实用新型]一种ITO靶材有效
| 申请号： | 201420024561.0 | 申请日： | 2014-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN203782225U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 胡业新 | 申请（专利权）人： | 昆山日久新能源应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 伊美年 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO靶材，包括靶材本体，其特征在于：所述靶材本体由分体式设置的外圈溅射区及设置于溅射区内侧的非溅射区构成，所述溅射区与非溅射区之间拼接连接。本实用新型靶材由分体式的溅射区和非溅射区构成，两者之间拼接连接，溅射完成后非溅射区可再次利用，降低了靶材的成本，提高了资源的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 靶材 | ||
【主权项】：
一种ITO靶材，包括靶材本体，其特征在于：所述靶材本体由分体式设置的外圈溅射区(3)及设置于溅射区(3)内侧的非溅射区(4)构成，所述溅射区(3)与非溅射区(4)之间拼接连接。
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