[实用新型]晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置有效
申请号: | 201420025300.0 | 申请日: | 2014-01-16 |
公开(公告)号: | CN203644745U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 张仲英;吕日祥;王斌;孔维兴 | 申请(专利权)人: | 浙江绿远光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 周涌贺 |
地址: | 323400 浙江省丽*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置,包括一排平行设置在化学槽内的滚轮,滚轮的表面设有间隔分布的凸点,相邻的凸点之间形成下凹区域,同一滚轮上的凸点交错分布,一排滚轮上的凸点在传送方向上均不在同一直线上。本实用新型通过减小支撑接触面积和变化支撑位置的方式,解决支撑点对硅片的影响,使得硅片的表面绒面更加均匀,同时对于后续的氮化硅气相沉积工序更为有利,因为均匀的绒面可以令氮化硅膜的厚度控制得更好,同时颜色也更均匀,色差的问题也可以大幅的降低,外观不良的电池片减少也即是降低成本提高利润,除此之外反射率的降低可以提高太阳能电池片的短路电流,即是提高太阳能电池片的光电转换率。 | ||
搜索关键词: | 晶体 太阳能电池 链式 传送 平行 滚轮 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置,包括一排平行设置在化学槽内的滚轮(1),其特征是:所述滚轮(1)的表面设有间隔分布的凸点(2),相邻的凸点(2)之间形成下凹区域(3),同一滚轮(1)上的凸点(2)交错分布,一排滚轮(1)上的凸点(2)在传送方向上均不在同一直线上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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