[实用新型]基板吸附载台有效
| 申请号： | 201420025717.7 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN203775535U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 汪秉龙;陈桂标;陈信呈;彭及盈;郑明志 | 申请（专利权）人： | 久元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 于宝庆;刘春生 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板吸附载台，其包含：一载台本体、一第一阻气模块及数个第二阻气模块。载台本体具有数个吸附孔。第一阻气模块设置于载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的吸附孔。数个第二阻气模块分别设置于载台本体的另一侧，各第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的吸附孔。由此，使用者可以依据实际基板的长宽大小，而选择性地关闭未被基板所遮蔽的X、Y方向的吸附孔，进而可有效地使基板吸附于载台上。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 | ||
【主权项】：
一种基板吸附载台，其特征在于，该基板吸附载台包含： 一载台本体，其具有数个吸附孔； 一第一阻气模块，其设置于该载台本体的一侧，以可选择地关闭至少一列X方向的该些吸附孔；以及 数个第二阻气模块，其设置于该载台本体的另一侧，各该第二阻气模块可选择地关闭至少一排Y方向的该些吸附孔。
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