[实用新型]电容式边缘传感器

摘要

电容式边缘传感器。传统的电容器传感器的缺点是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大，以及联接电路较复杂等，而且不能测量法珀和拼接镜面技术中的拼接在一起或者平行放置的2个光学镜面之间的微距离。本实用新型的组成包括：信号发生电路（1），所述的信号发生电路分别与待测平板电容A（2）、待测平板电容B（3）、限幅电路（4）连接，信号放大电路（5）分别与所述的待测平板电容A、所述的待测平板电容B、低通滤波电路（6）连接，所述的低通滤波电路与所述的限幅电路连接，所述的限幅电路与相位检测电路（7）连接，所述的相位检测电路与信号调理电路（8）连接。本实用新型用于微位移传感器。

主权项

一种电容式边缘传感器,其组成包括：信号发生电路，其特征是：所述的信号发生电路分别与待测平板电容A、待测平板电容B、限幅电路连接，信号放大电路分别与所述的待测平板电容A、所述的待测平板电容B、低通滤波电路连接，所述的低通滤波电路与所述的限幅电路连接，所述的限幅电路与相位检测电路连接，所述的相位检测电路与信号调理电路连接。