[实用新型]一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构

摘要

本实用新型公开了一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构，在任意衬底上采用气相沉积、液相沉积依次生长金属薄膜层、介质薄膜层，其后利用气相沉积或气相沉积结合退火工艺在介质薄膜层上生长金属颗粒无序分布层。其中金属薄膜层厚度为80nm-1μm，介质薄膜层厚度为1nm-200nm，金属颗粒无序分布层中等效薄膜层平均高度为5nm-100nm，颗粒平均尺寸为10nm-200nm，金属颗粒表面覆盖率为3%-90%。此可见到近红外波段吸收膜系结构具有在可见到近红外特定波段吸收率达到99%的近完美吸收特性。本实用新型的优点是：工艺简单，成本低，偏正不敏感，角度不敏感，可控性好，协调性高，可大面积生长，对衬底无要求、纳米加工技术成熟。

主权项

一种基于可见到近红外波段吸收膜系结构，其结构为：在衬底（1）上依次是金属薄膜层（2）、介质薄膜层（3）和金属颗粒无序分布层（4），其特征在于：所述的金属薄膜层（2）是金、银、铂、铝或铜薄膜层，厚度为80nm‑1μm；所述的介质薄膜层（3）是指对可见及近红外波段透明的薄膜层，薄膜层的厚度为1nm‑200nm；所述的金属颗粒无序分布层（4）为金、银、铂、铝或铜纳米颗粒无序分布的等效薄膜层，等效薄膜层的平均高度为5nm‑100nm，金属颗粒的平均尺寸为10nm‑200nm，金属颗粒的表面覆盖率为3%‑90%。