[实用新型]一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子有效

专利信息
申请号: 201420028870.5 申请日: 2014-01-16
公开(公告)号: CN203862260U 公开(公告)日: 2014-10-08
发明(设计)人: 许海峰;刘宁;马梦;曹保银;杨承志;王桂英;张明玉;郝保明;王红艳;李娜;刘鹏 申请(专利权)人: 宿州学院
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 234000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子,包括有圆柱形盒体以及圆柱形盖体,圆柱形盒体的下端外壁上设有环形凹槽,圆柱形盖体的下端内壁上设有与环形凹槽配合的环形凸起,圆柱形盖体的侧壁上设有一个缺口,圆柱形盒体的内部由隔板分为若干等份,其中一个等份的外端封闭,其余各个等份的外端敞开,外端敞开的各个等份中编写有不同的编号并分别放置有硅片。本实用新型是用于贮存硅片,贮存时,圆柱形盖体旋合在圆柱形盒体上并且缺口对在外端封闭的等份处,需要取出某一编号对应的硅片时,只需用将缺口对在相应的外端敞开的等份上即可,使用方便,可有效保护硅片。
搜索关键词: 一种 用于 测试 sem 实验 放置 硅片 盒子
【主权项】:
一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子,其特征在于:包括有圆柱形盒体以及圆柱形盖体,圆柱形盒体的下端外壁上设有环形凹槽,圆柱形盖体的下端内壁上设有与环形凹槽配合的环形凸起,圆柱形盖体的侧壁上设有一个缺口,圆柱形盒体的内部由隔板分为若干等份,其中一个等份的外端封闭,其余各个等份的外端敞开。 
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