[实用新型]点源全息图测距装置

摘要

本实用新型公开了一种点源全息图测距装置，该装置沿着光路前进方向依次设置有半导体激光器（10）、平面反射镜（9）、测量点（1）、透镜（2）、线偏振片（3）、1/4波片（4）、双折射晶体（5）、线偏振片（6）、电子耦合器件（7）以及计算机处理系统（8），所述装置在线偏振片（3）与线偏振片（6）的光轴相互垂直时采集第一全息图，在二者的光轴相互平行时采集第二全息图，根据该第一全息图和第二全息图的差值处理得到测量点（1）的实际距离。本实用新型由于采用了共轴光路测量系统，可以大大增强系统的抗干扰性，具有稳定、高效率及不受被测表面特性影响的特点，可以达到1微米的测量精度，在工业领域具有广泛的应用前景。

主权项

一种点源全息图测距装置，沿着光路前进方向依次设置有半导体激光器(10)、平面反射镜(9)、测量点(1)、透镜(2)、线偏振片(3)、1/4波片(4)、双折射晶体(5)、线偏振片(6)、电子耦合器件(7)以及计算机处理系统(8)，其中： 半导体激光器(10)用于发出激光； 平面反射镜(9)设置在半导体激光器(10)的前方，用于将激光的光路改变至测量点(1)上； 测量点(1)将激光漫反射出； 透镜(2)用于会聚测量点(1)漫反射的光，并将测量点成像在1/4波片(4)之后； 线偏振片(3)设置成偏振方向能够绕系统主轴旋转，用于改变入射光线的偏振方向； 1/4波片(4)设置成其光轴沿竖直方向； 双折射晶体(5)设置成Z轴沿系统主轴方向，y轴沿竖直方向，x‑y面与系统主轴垂直； 线偏振片(6)设置成光轴与竖直方向的夹角为右偏45°，用于改变入射光线的偏振方向； 电子耦合器件7用于采集全息图像信号并发送给计算机处理系统(8)； 计算机处理系统(8)用于对所接收的全息图像信号进行处理以得到测量点(1)到透镜的实际距离；其中 所述电子耦合器件7在线偏振片(3)与线偏振片(6)的光轴相互垂直时采集第一全息图，在二者的光轴相互平行时采集第二全息图，所述计算机处理系统(8)根据该第一全息图和第二全息图的差值处理得到测量点(1)的实际距离。