[实用新型]一种在线追随悬挂工作台有效

申请号：	201420038706.2	申请日：	2014-01-21
公开（公告）号：	CN203826350U	公开（公告）日：	2014-09-10
发明（设计）人：	彭捷;谢创	申请（专利权）人：	谢创;彭捷
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67
代理公司：	东莞市科安知识产权代理事务所 44284	代理人：	罗崇保
地址：	526000 广***	国省代码：	广东;44
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摘要：	一种在线追随悬挂工作台，属半导体后封装技术领域，为节省人力资源而设计。其包含:控制装置；一条由步进电机驱动的数控运输带(90)，其所载运的一个工件构成被追随的目标；其特征是具有以下结构：第一条X向导轨(601)，其上有X1滑块；第二条X向导轨(602)固装于X1滑块，其上有X2滑块；Y向导轨(603)固装于X2滑块，其上有Y滑块；Y滑块上安装轴线铅垂的θ转轴(604),θ转轴下部固装功能装置安装夹；其具有X、Y、θ共三个行程区间；前述X1滑块、X2滑块、Y滑块分别传动连接于一个步进电机的转轴；θ转轴(604)传动连接于一个步进电机的转轴；摄像头(605)，其与功能装置安装夹固装。
搜索关键词：	一种在线追随悬挂工作台
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【主权项】：

一种在线追随悬挂工作台，其包含: 控制装置；一条由步进电机驱动的数控运输带(90)，其所载运的一个工件构成被追随的目标工件；其特征是具有以下结构：第一条X向导轨(601)，其上有X1滑块；第二条X向导轨(602)固装于X1滑块，其上有X2滑块；Y向导轨(603)固装于X2滑块，其上有Y滑块；Y滑块上安装轴线铅垂的θ转轴(604),θ转轴下部固装功能装置安装夹；其具有X、Y、θ共三个行程区间；前述X1滑块、X2滑块、Y滑块分别传动连接于一个步进电机的转轴；θ转轴(604)传动连接于一个步进电机的转轴；摄像头(605)，其与功能装置安装夹固装。

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专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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