[实用新型]晶圆减薄结构有效

专利信息
申请号: 201420045384.4 申请日: 2014-01-24
公开(公告)号: CN203733801U 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 施建根 申请(专利权)人: 南通富士通微电子股份有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 孟阿妮
地址: 226006 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型提供一种晶圆减薄结构,包括:晶圆,多个芯片,导电凸点;各所述芯片在所述晶圆一面呈阵列分布;所述导电凸点形成于所述芯片远离所述晶圆的表面,所述导电凸点为铜柱;所述晶圆未形成有所述芯片的一面具有周边厚中间薄的环状结构。本实用新型提供的晶圆减薄结构,实现了同样功能的半导体器件圆片封装的单体芯片厚度越来越薄的目标,并且更重要的是实现了晶圆背部减薄后只有微小翘曲的目标。
搜索关键词: 晶圆减薄 结构
【主权项】:
一种晶圆减薄结构,其特征在于,包括:晶圆,多个芯片,导电凸点;各所述芯片在所述晶圆一面呈阵列分布;所述导电凸点形成于所述芯片远离所述晶圆的表面,所述导电凸点为铜柱;所述晶圆未形成有所述芯片的一面具有周边厚中间薄的环状结构。 
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通富士通微电子股份有限公司,未经南通富士通微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420045384.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top