[实用新型]一种令LED芯片易于劈裂的激光切割机有效

专利信息
申请号: 201420054770.X 申请日: 2014-01-27
公开(公告)号: CN203765174U 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: 陈鸿隆 申请(专利权)人: 深圳英诺激光科技有限公司;常州英诺激光科技有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/046
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 李新林
地址: 518000 广东省深圳市南山区科技*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种令LED芯片易于劈裂的激光切割机,其包括有激光头和旋转机构,沿激光头的激光传输方向依次设有1/2波片、分光镜、反射镜、聚焦镜和移动载台,LED芯片放置于移动载台上,1/2波片设于旋转机构的动力输出端,旋转机构驱动1/2波片沿该1/2波片的径向方向旋转,在1/2波片的旋转作用下,产生能令LED芯片产生周期性深浅刻痕的激光束,1/2波片射出的激光束经分光镜分成至少两个子激光束,并且该子激光束依次经过反射镜和聚焦镜传输至LED芯片,在移动载台的平移作用下,多个子光束依次切割同一刻痕,逐渐增加刻痕的深、浅幅度,使得LED芯片更加易于劈裂,并且在切割之后,LED芯片侧壁的烧蚀面积减小,对蓝宝石衬底侧壁烧蚀程度较低。
搜索关键词: 一种 led 芯片 易于 劈裂 激光 切割机
【主权项】:
一种令LED芯片易于劈裂的激光切割机,其特征在于,包括有激光头和旋转机构,沿激光头的激光传输方向依次设有1/2波片、分光镜、反射镜、聚焦镜和移动载台,LED芯片放置于移动载台上,所述1/2波片设于旋转机构之上,所述旋转机构驱动1/2波片绕该1/2波片的径向方向旋转,所述1/2波片射出的激光束经分光镜分成至少两个子激光束,并且该子激光束依次经过反射镜和聚焦镜传输至LED芯片。
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