[实用新型]一种激光打孔装置

摘要

本实用新型公开了一种激光打孔装置，其中的激光头是Q开关激光器，楔角棱镜与驱动装置固定连接，并且楔角棱镜的出光面为斜面，驱动装置开设有导光孔，驱动装置绕导光孔的轴心线转动，激光头发出的激光脉冲通过导光孔传输至楔角棱镜，并且经过楔角棱镜折射后，依次通过第一反射镜和聚焦镜传输至硬脆基板。其中，该激光打孔装置采用Q开关激光器作为激光源，避免因热应力过大造成硬脆基板碎裂，同时，无需在硬脆基板上涂覆PVA，简化了加工工序，提高了加工效率，此外，通过带有导光孔的驱动装置带动楔角棱镜旋转，令其转动过程更加稳定，避免激光打孔轨迹的偏移，实现了精确加工。

主权项

一种激光打孔装置，其特征在于，包括有激光头，沿激光头发出的激光脉冲的传输方向依次设置有驱动装置、楔角棱镜、第一反射镜、聚焦镜和载台，硬脆基板放置于载台上，所述激光头是Q开关激光器，所述楔角棱镜与驱动装置固定连接，并且楔角棱镜的出光面为斜面，所述驱动装置开设有导光孔，在驱动装置的带动下，所述楔角棱镜绕导光孔的轴心线转动，所述激光头发出的激光脉冲通过导光孔传输至楔角棱镜，并且经过楔角棱镜折射后，依次通过第一反射镜和聚焦镜传输至硬脆基板。