[实用新型]一种用于光罩盒的除尘装置

摘要

本实用新型提供一种用于光罩盒的除尘装置，至少包括：设有开口和通槽的外罩；位于所述外罩底部的支撑柱；上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上的基板；所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫置于所述外罩内；所述外罩的开口垂直投影于所述粘性垫上；穿过所述通槽与所述基板连接的开合器在所述通槽中上下移动；所述光罩盒底座嵌入所述外罩开口并接触于所述粘性垫表面；所述光罩盒卡口宽度大于所述开口宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。所述装置在粘性垫作用下可去除光罩盒底部的微粒，使所述光罩盒在进入机台的运行过程中不污染光罩，能有效提高光罩制程的良率。

主权项

一种用于光罩盒的除尘装置，其特征在于，所述用于光罩盒的除尘装置至少包括：上表面设有开口且侧壁设有至少一个通槽的外罩；位于所述外罩底部的至少三个支撑柱；上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上上下滑动的基板；所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫均置于所述外罩内部；所述外罩上表面的开口的垂直投影位于所述粘性垫上表面；穿过所述通槽并伸出所述外罩并与所述基板连接的开合器；所述开合器在所述通槽中上下移动；卡持于所述开口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的开口并与所述粘性垫表面接触；所述卡口纵截面的宽度大于所述开口纵截面的宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。