[实用新型]一种镀膜低辐射玻璃有效
申请号: | 201420063251.X | 申请日: | 2014-02-12 |
公开(公告)号: | CN203994914U | 公开(公告)日: | 2014-12-10 |
发明(设计)人: | 王勇;胡冰;刘双;王烁;童帅 | 申请(专利权)人: | 天津南玻节能玻璃有限公司;天津南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;B32B9/04;B32B33/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 韩敏 |
地址: | 301700 天津市武清*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供一种镀膜低辐射玻璃,包括玻璃基片和功能膜层,所述功能膜层包括SiC膜层。SiC膜层能满足常规介质层材料的性能的同时而且能大幅度提高溅射速率。通过实验发现SiC膜层的溅射速率是3.23nmm/min/Kw/m,而且碳化硅靶材溅射使用纯氩气溅射,相比硅铝靶的氩氮反应溅射成膜均匀更易控制,更为稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 辐射 玻璃 | ||
【主权项】:
一种镀膜低辐射玻璃,包括玻璃基片和功能膜层,其特征在于:所述功能膜层包括SiC膜层,且其厚度在5nm~70nm之间。
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