[实用新型]一种晶片浆料预处理装置

摘要

本实用新型涉及一种晶片浆料预处理装置，其包括箱型机体，箱型机体上设置有浆料入口与浆料出口；所述浆料入口通过浆料流入管道连通至设置在箱型机体内部的浆料桶内，浆料桶上设置有连通至浆料出口的浆料流出管道，浆料流出管道内部设置有浆料流出阀，浆料流出阀与浆料桶之间设置有浆料抽取泵；所述浆料桶内部设置有浆料搅拌装置；采用上述技术方案的晶片浆料预处理装置，其可在浆料倒入研磨机台之前对其进行搅拌、加热等处理工作，使其的均匀度、温度均有所改善，从而在后续的研磨工作中研磨效率得以显著提高；同时，上述晶片浆料预处理装置仅需将浆料导入浆料入口即可自行工作，无需繁杂人工，达到便捷精确的加工效果。

主权项

一种晶片浆料预处理装置，其特征在于，所述晶片浆料预处理装置包括箱型机体，箱型机体上设置有浆料入口与浆料出口；所述浆料入口通过浆料流入管道连通至设置在箱型机体内部的浆料桶内，浆料桶上设置有连通至浆料出口的浆料流出管道，浆料流出管道内部设置有浆料流出阀，浆料流出阀与浆料桶之间设置有浆料抽取泵；所述浆料桶内部设置有浆料搅拌装置；所述浆料搅拌装置由设置在箱型机体内部的电机，与电机相连接的搅拌棒，以及设置在搅拌棒上的多片搅拌叶片构成；所述搅拌棒采用T型搅拌棒；所述T型搅拌棒上至少设置有3片搅拌叶片，其沿搅拌棒轴向均匀分布；所述浆料桶内壁设置有压力传感器，浆料桶外壁设置有浆料余量报警器；所述压力传感器与浆料余量报警器之间采用电性连接；所述压力传感器与浆料桶底部间的距离至少为浆料桶高度的1/4；所述浆料出口处设置有过滤网，所述浆料流出管道在过滤网对应位置设置有掀盖。