[实用新型]新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统有效
申请号: | 201420072948.3 | 申请日: | 2014-02-20 |
公开(公告)号: | CN203816711U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 陈立艳 | 申请(专利权)人: | 新沂市宏润石英硅微粉有限公司 |
主分类号: | B02C17/16 | 分类号: | B02C17/16;B02C17/18;B02C17/22;B02C17/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统,该系统属于熔融硅微粉生产领域,包括动力控制装置、动力装置、无级调速器、立式螺旋搅拌球磨机、收料器,其中动力控制装置和动力装置连接,动力装置和无级调速器连接;无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机连接,立式螺旋搅拌球磨机和收料器连接,动力控制装置和动力装置间的连接装置为第一动力电路,动力装置和无级调速器间的连接装置为第一传动轴,无级调速器和立式螺旋搅拌球磨机间的连接装置为第二传动轴,立式螺旋搅拌球磨机上设有熔融石英沙进口,立式螺旋搅拌球磨机和收料器间的连接装置为引风机,收料器上设有纳米级熔融硅微粉出口。 | ||
搜索关键词: | 新型 生产 半导体 纳米 熔融 硅微粉 研磨 系统 | ||
【主权项】:
一种新型生产半导体用纳米级熔融硅微粉的研磨系统,包括:动力控制装置(1)、动力装置(2)、无级调速器(3)、立式螺旋搅拌球磨机(4)、收料器(5),其中动力控制装置(1)和动力装置(2)连接,动力装置(2)和无级调速器(3)连接;无级调速器(3)和立式螺旋搅拌球磨机(4)连接,立式螺旋搅拌球磨机(4)和收料器(5)连接,其特征是:动力控制装置(1)和动力装置(2)间的连接装置为第一动力电路(6),动力装置(2)和无级调速器(3)间的连接装置为第一传动轴(7),无级调速器(3)和立式螺旋搅拌球磨机(4)间的连接装置为第二传动轴(8),立式螺旋搅拌球磨机(4)上设有熔融石英沙进口(9),立式螺旋搅拌球磨机(4)和收料器(5)间的连接装置为引风机(10),收料器(5)上设有纳米级熔融硅微粉出口(11)。
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