[实用新型]一种定点提取晶圆表面污染物的装置有效
| 申请号： | 201420074282.5 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN203705182U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 谭玉荣;刘庆修;李剑 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02;G01N1/14 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种定点提取晶圆表面污染物的装置，所述定点提取晶圆表面污染物的装置至少包括：底座，所述底座上设有放置晶圆的收容腔；盖体，所述盖体上设有若干取样口；以及连接所述盖体和底座的连接件。将待分析晶圆放置于所述定点提取晶圆表面污染物的装置中，将HF/HNO3溶液滴入需要分析区域上方的取样口，经过一段时间将取样口的溶液取出分别进行分析，可以选择性地、详细准确地定点分析出每个区域之间的污染物水平和污染物种类的差异，从而找出问题的原因。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定点 提取 表面 污染物 装置 | ||
【主权项】：
一种定点提取晶圆表面污染物的装置，其特征在于，所述定点提取晶圆表面污染物的装置至少包括：底座，所述底座上设有放置晶圆的收容腔；盖体，所述盖体上设有若干取样口；以及连接所述盖体和底座的连接件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420074282.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
