[实用新型]一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓有效
| 申请号： | 201420075121.8 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203834051U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郑淑刚;李朝;张兴云 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括圆柱形仓体（1），该仓体的其中一个圆形端面安装有用于向仓体内输入氮气和氧气的进气管（2）、用于向仓体内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体（1）内温度的热偶管（4）和用于排出仓体（1）内废气的排气管（5），进气管（2）位于圆形端面的中心位置，排气管（5）位于圆形端面的底端位置，其特征在于：喷磷管包括上喷磷管（31）和下喷磷管（32）；上喷磷管（31）位于圆形端面的顶端位置，下喷磷管（32）位于圆形端面的底端位置，热偶管（4）位于圆形端面的左端或右端位置。本实用新型能使氮气、氧气和磷源混合均匀，从而使扩散反应更为均匀，扩散效果得到提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体 太阳能电池 制造 扩散 反应 | ||
【主权项】：
一种用于晶体硅太阳能电池制造的扩散炉反应仓，包括圆柱形仓体（1），该仓体（1）的其中一个圆形端面安装有用于向仓体（1）内输入氮气和氧气的进气管（2）、用于向仓体（1）内喷入磷源的喷磷管、用于监控仓体（1）内温度的热偶管（4）和用于排出仓体（1）内废气的排气管（5），所述进气管（2）位于圆形端面的中心位置，所述排气管（5）位于圆形端面的底端位置，其特征在于：所述的喷磷管包括上喷磷管（31）和下喷磷管（32）；所述上喷磷管（31）位于圆形端面的顶端位置，下喷磷管（32）位于圆形端面的底端位置，所述热偶管（4）位于圆形端面的左端或右端位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶澳太阳能有限公司，未经晶澳太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420075121.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
