[实用新型]一种无铟靶材绑定技术有效
| 申请号： | 201420083244.6 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN203947154U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 周航锋;贺伟;侍进山;徐博文;李景;李信;陈武;万禄兵 | 申请（专利权）人： | 湖南中好科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南省娄底市兴娄专利事务所 43106 | 代理人： | 朱成实 |
| 地址： | 410604 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种无铟靶材绑定技术，它包括有基材，基材顶部预设有若干个凸起或凹进的定位，靶材底部设有与定位相配合的卡位，并通过卡位装配在基材上；靶材采用多段组合式结构。本实用新型的优点在于：无需使用胶水粘接、结构简单、稳定、制作成本小、溅射效果好、使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无铟靶材 绑定 技术 | ||
【主权项】：
一种无铟靶材绑定技术，其特征在于：它包括有基材（1），基材（1）顶部预设有若干个凸起或凹进的定位（2），靶材（3）底部设有与定位（2）相配合的卡位，并通过卡位装配在基材（1）上；靶材（3）采用多段组合式结构；所述的基材（1）采用铜合金制作成型，其截面为阶梯状，阶梯状的底部阶梯面为固定面，该固定面上设有固定螺孔（4）；所述的靶材（3）由三段结构组合成型，组合后的靶材（3）顶部预留有溅射槽（5）。
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