[实用新型]下膜机

摘要

一种下膜机，可将装载有一片芯片的一个膜片从一个载板上卸下，并且重新在该载板黏贴一片新的膜片，该下膜机包含：数个用来载送所述载板的载框、一个基架，以及安装在该基架上的一个下膜机构、一个贴膜机构，以及一个输送机构，该输送机构包括一个将承载有芯片的载板运送到该下膜机构进行下膜作业的进料单元、一个将卸除芯片及膜片的载板移送到该贴膜机构进行贴膜作业的移送单元，以及一个将贴膜后的载板移送到空的载框内并将所述载框移出该基架的一个载送区域的出料单元，前述结构可以提高下膜机在加工时的速度及作业顺畅性。

主权项

一种下膜机，将装载有一片芯片的一个膜片自一个载板上卸下，并且重新在该载板上黏贴一片新的膜片，该下膜机包含：数个用来载送该载板的载框、一个基架、一个下膜机构，以及一个贴膜机构，该下膜机构包括一个将该载框与黏贴有膜片的芯片分离的下膜单元，而该贴膜机构包括一个可将新的膜片黏贴在该载板上的贴膜单元；其特征在于：该基架包括一个下膜区域、一个贴膜区域，以及一个可让所述载框进出的载送区域，而该下膜机构位在该基架的下膜区域内，该贴膜机构位在该基架的贴膜区域内；又该下膜机还包含一个输送机构，该输送机构包括一个将装载有芯片的载板送到该下膜机构进行下膜作业的进料单元、一个将卸除芯片及膜片的载板移送到该贴膜机构进行贴膜作业的移送单元，以及一个将贴膜后的载板移送到所述载框的其中之一上并将所述载框移离该载送区域的出料单元。