[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型属于多晶硅铸锭技术领域，旨在提供一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、隔热笼、石墨护板、定向散热块、石墨支撑柱、红外测温仪、可编程逻辑控制器、热电偶测温仪、石英坩埚、加热器；所述加热器安装于炉体上，并将石墨护板罩于该加热器内；所述石英坩埚安装于石墨护板内；本实用新型的有益效果有：热电偶测温仪接触式测量石英坩埚底部中心区域温度，测温准确，读数稳定，真实反应出测温点处温度，且温度值受硅液扰动小；采用红外测温仪非接触式测量石英坩埚底部边角区域温度，响应时间快、分辨精度高，可迅速检测到硅溶液流入后造成的温度波动。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括炉体，其特征在于，还包括隔热笼、石墨护板、定向散热块、石墨支撑柱、红外测温仪、可编程逻辑控制器、热电偶测温仪、石英坩埚和加热器；所述隔热笼吊装在炉体上，定向散热块通过多个石墨支撑柱安装于炉体内，石墨护板安装于定向散热块的上表面，所述加热器安装于炉体上，并将石墨护板罩于该加热器内，所述石英坩埚安装于石墨护板内；红外测温仪安装于炉体的底部，在炉体、隔热笼和定向散热块上依次设置贯穿孔以形成通道，使红外测温仪能够探测石墨护板辐射的红外线以检测石英坩埚底部温度；热电偶测温仪安装于石墨护板的底部，并依次通过炉体、隔热笼和定向散热块上的贯穿孔，检测石英坩埚底部温度；可编程逻辑控制器分别通过各自导线与红外测温仪、热电偶测温仪相连，用于采集红外测温仪和热电偶测温仪的数据，进行运算处理。