[实用新型]一种还原炉复合隔热屏及还原炉有效
申请号: | 201420095982.2 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN203728587U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 郭增昌;刘申良;孟华 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型提供一种还原炉复合隔热屏及还原炉,包括:金属护板、第一镍铬基合金板、复合隔热板和第二镍铬基合金板;所述金属护板、第一镍铬基合金板、复合隔热板和第二镍铬基合金板依次抽真空层压为一体;与所述金属护板层压的第一镍铬基合金板的表面上涂覆有碳化硅涂层,利用金属护板保护第一镍铬基合金板表面的碳化硅涂层,防止其被倒下的硅棒损坏,延长隔热屏的使用寿命,并防止多晶硅生产过程中产生的氯化氢对碳化硅涂层的腐蚀,避免对还原炉气氛产生污染;利用第一镍铬基合金板进行二次热辐射,并利用复合隔热板阻止热辐射向还原炉的内壁传递,能够节能降耗,并降低硅棒中心和表面温度梯度,均匀炉内热场。 | ||
搜索关键词: | 一种 还原 复合 隔热 | ||
【主权项】:
一种还原炉复合隔热屏,其特征在于,包括:金属护板、第一镍铬基合金板、复合隔热板和第二镍铬基合金板;所述金属护板、第一镍铬基合金板、复合隔热板和第二镍铬基合金板依次抽真空层压为一体;与所述金属护板层压的第一镍铬基合金板的表面上涂覆有碳化硅涂层。
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