[实用新型]管道防护装置和光阻供应装置有效
| 申请号： | 201420102221.5 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203770946U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 顾烨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16L57/02 | 分类号： | F16L57/02;F16L7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了管道防护装置和光阻供应装置。管道防护装置，用于保护光阻输出管道，所述管道防护装置包括：螺旋状防护套和紧固件；所述紧固件通过插接与所述螺旋状防护套固定；其中，所述紧固件具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套连通。在本实用新型提供的管道防护装置中，所述管道防护装置采用中空的结构使得光阻输出管道能够插入其中，同时所述管道防护装置通过紧固件与光阻瓶盖固定，从而保护所述光阻瓶盖附近的光阻输出管道免受外力，避免弯折。 | ||
| 搜索关键词： | 管道 防护 装置 供应 | ||
【主权项】：
一种管道防护装置，用于保护光阻输出管道，其特征在于，包括：螺旋状防护套和紧固件； 所述紧固件通过插接与所述螺旋状防护套固定； 其中，所述紧固件具有管道通孔，所述管道通孔与所述螺旋状防护套连通。
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