[实用新型]一种连续式阴极磁场调整机构有效
申请号: | 201420104925.6 | 申请日: | 2014-03-07 |
公开(公告)号: | CN203834009U | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 李金成 | 申请(专利权)人: | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 朱俊跃 |
地址: | 201108 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开一种连续式阴极磁场调整机构,其中,包括一固定座;一升降装置,所述升降装置的一端安装磁棒,所述磁棒正对一工作平台,所述升降装置的另一端与所述固定座连接;还包括一调整装置,所述调整装置与所述固定座连接,并且所述调整装置驱动所述升降装置相对所述工作平台上下伸缩。使用本实用新型一种连续式阴极磁场调整机构,通过螺母的旋转带动磁棒相对工作平台上的玻璃或需待镀膜介质实现上下升降,从而达成磁场调整的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 连续 阴极 磁场 调整 机构 | ||
【主权项】:
一种连续式阴极磁场调整机构,其特征在于,包括一固定座;一升降装置,所述升降装置的一端安装磁棒,所述磁棒正对一工作平台,所述升降装置的另一端与所述固定座连接;还包括一调整装置,所述调整装置与所述固定座连接,并且所述调整装置驱动所述升降装置相对所述工作平台上下伸缩。
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