[实用新型]一种用于真空镀膜设备的衬底基座有效
| 申请号： | 201420106671.1 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN203768452U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 黄延伟 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 杜军 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备的衬底基座。本实用新型由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成。该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。本实用新型可根据衬底的面积大小、形状差异进行不同位置的灵活固定，简单方便，尤其对面积较小、数量众多的衬底样品有很好的紧固能力，具有很好的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 衬底 基座 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜设备的衬底基座，其特征在于：该衬底基座由带沟槽的衬底面板、螺丝、螺母和金属薄垫片组成；衬底面板的沟槽轨道至少有两条，且轨道之间的距离至少为3 cm，沟槽轨道的宽度能容下螺丝，且螺丝杆可以在沟槽中自由移动，螺丝杆与螺母配合，螺丝杆上装有可活动的金属薄垫片。
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