[实用新型]一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置有效

专利信息
申请号: 201420109255.7 申请日: 2014-03-12
公开(公告)号: CN203820916U 公开(公告)日: 2014-09-10
发明(设计)人: 黄永恩;张学强;范全东;路鹏 申请(专利权)人: 宁晋赛美港龙电子材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 代理人: 李羡民;周晓萍
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置,其技术方案是,它包括抽气管道、真空泵和一组防爆过滤罐,所述抽气管道一端连接单晶炉,另一端连接真空泵,抽气管道将各防爆过滤罐串联连接,抽气管道设置高度不高于各防爆过滤罐高度的三分之一,所述相邻防爆过滤罐之间、防爆过滤罐与单晶炉之间、防爆过滤罐与真空泵之间设置球阀。采用本实用新型的有益效果是:降低单一过滤罐内易燃挥发物的堆积量,对各防爆过滤罐进行缓慢充氧、泄压防爆,消除了重掺硅单晶生产排气过滤的爆炸隐患。
搜索关键词: 一种 用于 生产 重掺硅单晶 防爆 排气 过滤 装置
【主权项】:
一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置,其特征在于,它包括抽气管道(3)、真空泵(5)和一组防爆过滤罐(4),所述抽气管道一端连接单晶炉(1),另一端连接真空泵,抽气管道将各防爆过滤罐串联连接,抽气管道设置高度不高于各防爆过滤罐高度的三分之一,所述相邻防爆过滤罐之间、防爆过滤罐与单晶炉之间、防爆过滤罐与真空泵之间设置球阀(2)。
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