[实用新型]一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置有效
申请号: | 201420109255.7 | 申请日: | 2014-03-12 |
公开(公告)号: | CN203820916U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 黄永恩;张学强;范全东;路鹏 | 申请(专利权)人: | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李羡民;周晓萍 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置,其技术方案是,它包括抽气管道、真空泵和一组防爆过滤罐,所述抽气管道一端连接单晶炉,另一端连接真空泵,抽气管道将各防爆过滤罐串联连接,抽气管道设置高度不高于各防爆过滤罐高度的三分之一,所述相邻防爆过滤罐之间、防爆过滤罐与单晶炉之间、防爆过滤罐与真空泵之间设置球阀。采用本实用新型的有益效果是:降低单一过滤罐内易燃挥发物的堆积量,对各防爆过滤罐进行缓慢充氧、泄压防爆,消除了重掺硅单晶生产排气过滤的爆炸隐患。 | ||
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【主权项】:
一种用于生产重掺硅单晶的防爆排气过滤装置,其特征在于,它包括抽气管道(3)、真空泵(5)和一组防爆过滤罐(4),所述抽气管道一端连接单晶炉(1),另一端连接真空泵,抽气管道将各防爆过滤罐串联连接,抽气管道设置高度不高于各防爆过滤罐高度的三分之一,所述相邻防爆过滤罐之间、防爆过滤罐与单晶炉之间、防爆过滤罐与真空泵之间设置球阀(2)。
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