[实用新型]网板曝光机台

摘要

本实用新型提供一种网板曝光机台，具有镜面降温器、镜面温度传感器以及镜面温度控制模块。镜面温度传感器与透光镜组的镜面直接接触，而可直接感测透光镜组镜面的温度。镜面温度控制模块接收镜面温度传感器的感测结果，并辅以参考镜面的导热系数，藉以准确判断透光镜组镜面与形成有电路布线图案的底片接触处的温度，当透光镜组镜面与底片接触处的温度高于默认的合理值时，代表置放于其上底片可能会发生热变形，因此镜面温度控制模块会径自命令镜面降温设备运转，促使透光镜组镜面的温度降至默认的合理值，俾降低用于曝光网板底片的热变形幅度，使网板上曝光形成的电路布线图案符合预期，且线条粗细均匀。

主权项

一种网板曝光机台，其特征在于，包括：机台腔体，设有透光镜组以及光源，所述透光镜组具有出光镜面以及迎光镜面，所述出光镜面用于置放形成有电路布线图案的底片，而待曝光的网板则可置放于所述底片的上方，所述光源朝所述透光镜组的方向发出紫外光线，所述紫外光线可经由所述迎光镜面进入所述透光镜组，并经由所述出光镜面离开所述透光镜组，俾可将所述底片的电路布线图案映像于所述网板，而对所述网板进行曝光程序；机台上盖，一端枢接所述机台腔体，所述机台上盖可枢转而贴合所述机台腔体，以形成收容所述网板与所述底片的曝光空间；真空帮浦，具有吸气埠用于抽除上述曝光空间中的气体，以使所述机台上盖紧密贴合所述机台腔体，进而令所述曝光空间中的网板迫使所述曝光空间中的底片紧贴所述透光镜组的出光镜面，俾提高所述曝光空间中网板的曝光精度；以及镜面温度调整装置，具有镜面降温器、镜面温度传感器以及镜面温度控制模块，所述镜面温度传感器接触所述透光镜组的镜面以感测温度，所述镜面温度控制模块接收所述镜面温度传感器的感测结果藉以判断所述透光镜组镜面的温度，当所述透光镜组镜面的温度高于默认的合理值时，所述镜面温度控制模块命令所述镜面降温设备运转，促使所述透光镜组镜面的温度降至默认的合理值。