[实用新型]支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟有效
申请号: | 201420109936.3 | 申请日: | 2014-03-11 |
公开(公告)号: | CN203782230U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 王家道;傅登峰;吴卫平;曾德栋 | 申请(专利权)人: | 海南英利新能源有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;H01L21/687;H01L21/673 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 海南省海口市国家高新技术*** | 国省代码: | 海南;66 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟,支撑组件用于支撑和固定石墨舟片,支撑组件包括:管状本体,设置有轴向通孔;气体通孔,设置在管状本体的外周面上,并与轴向通孔连通。应用本实用新型的支撑组件,通过在管状本体上设置连通轴向通孔的气体通孔,在支撑组件与石墨舟片配合时,轴向通孔内部的气体可以很容易从气体通孔处抽出,达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。 | ||
搜索关键词: | 支撑 组件 具有 石墨 | ||
【主权项】:
一种支撑组件,用于支撑和固定石墨舟片,其特征在于,所述支撑组件包括:管状本体(10),设置有轴向通孔(11);气体通孔(20),设置在所述管状本体(10)的外周面上,并与所述轴向通孔(11)连通。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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