[实用新型]一种超细晶粒多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种超细晶粒多晶硅铸锭炉，包括炉架、下炉体、散热块、坩埚、上炉体、隔热笼、提升机、固定架、加热器、护板、成核层、隔热条、定向助凝块和隔热底板；所述上炉体和下炉体均为钟罩形，固定焊接于炉架上；所述隔热笼下部设置有隔热底板，所述隔热板通过支撑柱与下炉体固定连接，所述隔热底板上设置有定向助凝块，所述定向助凝块上装配有坩埚；所述坩埚底部设置有一体式散热块；在所述坩埚底部四周设置有隔热条；所述坩埚四周和顶部设置有护板；所述坩埚的内部底面喷制的细粒径的石英砂成核层和氮化硅涂层；本新型石英砂成核层、坩埚外底面散热块和隔热条，使铸锭晶粒形核均匀细小一致，铸出超细晶粒多晶硅产品。

主权项

一种超细晶粒多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括炉架、下炉体、散热块、坩埚、惰气出口、上炉体、隔热笼、提升机、固定架、惰气入口、加热器、护板、硅料、成核层、隔热条、定向助凝块、隔热底板、起重电机、方环散热条和圆柱散热块；所述炉体为不锈钢双层壁水冷式炉体，所述上炉体为钟罩形，通过方钢结构焊接固定于炉架上，所述下炉体呈倒钟罩形，通过三个重型起重螺杆与上炉体相连，由电机驱动上下移动，实现下炉体打开和关闭操作；上炉体顶部设置有多个绝缘铜馈入装置将高交流电流导入石墨加热器；所述上炉体顶部设置有滑动装置，彼此间通过柔韧的驱动缆线连接在一起，所述缆线将加热区隔热笼上下移动，来控制硅铸锭的生长；所述隔热笼下部设置有隔热底板，所述隔热板通过支撑柱与下炉体固定连接，所述隔热底板上设置有定向助凝块，所述定向助凝块上装配有坩埚；所述坩埚底部设置有散热块，所述散热块与坩埚为一体结构，所述散热块包括方环散热条和圆满柱散热块，在所述坩埚底部四周设置有隔热条；所述坩埚四周和顶部设置有护板；所述坩埚的内部底面喷制的细粒径的石英砂成核层；所述坩埚内表面喷涂有氮化硅涂层，所述坩埚内部装填有硅料。