[实用新型]扫描电子显微镜有效

专利信息
申请号: 201420137391.7 申请日: 2014-03-21
公开(公告)号: CN203774245U 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: 杨萍;倪福全;胡建;杨敏;曾赟 申请(专利权)人: 四川农业大学
主分类号: H01J37/28 分类号: H01J37/28;H01J37/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 625014 四川省雅*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种扫描电子显微镜,它涉及一种显微镜。它包括真空系统、样品台、探头、视频放大器、二次电子、扫描偏转线圈、聚光镜、电子枪、扫描发生器、第一显像管、照相机、第二显像管和远程图像分析处理设备,真空系统底部设置有样品台,真空系统底部顶部设置有电子枪,电子枪与样品台之间设置有聚光镜,样品台通过二次电子与探头相连,探头与视频放大器相连,视频放大器分别与第一显像管和第二显像管相连,真空系统还通过扫描偏转线圈与与扫描发生器相连,扫描发生器通过扫描偏转线圈与第一显像管、第二显像管相连,第二显像管与照相机相连,照相机与远程图像分析处理设备相连。本实用新型结构简单,图像显示清晰,使得结果分析准确。
搜索关键词: 扫描 电子显微镜
【主权项】:
扫描电子显微镜,其特征在于,包括真空系统(1)、样品台(2)、探头(3)、视频放大器(4)、二次电子(5)、扫描偏转线圈6)、聚光镜(7)、电子枪(8)、扫描发生器(9)、第一显像管(10)、照相机(11)、第二显像管(12)和远程图像分析处理设备(13),真空系统(1)底部设置有样品台(2),真空系统(1)底部顶部设置有电子枪(8),电子枪(8)与样品台(2)之间设置有聚光镜(7),样品台(2)通过二次电子(5)与探头(3)相连,探头(3)与视频放大器(4)相连,视频放大器(4)分别与第一显像管(10)和第二显像管(12)相连,真空系统(1)还通过扫描偏转线圈与(6)与扫描发生器(9)相连,扫描发生器(9)通过扫描偏转线圈(6)与第一显像管(10)、第二显像管(12)相连,第二显像管(12)与照相机(11)相连,照相机(11)与远程图像分析处理设备(13)相连。
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