[实用新型]一种大直径碳化硅晶片的边缘倒角用砂轮有效
| 申请号： | 201420140316.6 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203726355U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 梁庆瑞;李兆亮;郭立涛;孙诗甫;高玉强 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24D5/14 | 分类号： | B24D5/14 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于新材料加工技术领域，具体提供了一种大直径碳化硅晶片的边缘倒角的专用砂轮，该砂轮将粗倒角砂轮和精倒角砂轮整合在一起，利用两次倒角的方式对切割后的碳化硅晶片进行粗倒角和精倒角两次倒角，最终利用这种特种砂轮实现了不需更换砂轮即可完成两次倒角的工艺，实现晶片边缘表面粗糙度小，无崩边，无加工缺陷的大直径碳化硅边缘倒角。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直径 碳化硅 晶片 边缘 倒角 砂轮 | ||
【主权项】：
一种大直径碳化硅晶片的边缘倒角用砂轮，其特征在于：该砂轮（2）包括砂轮中心轴（1），砂轮（2）侧面设置有两组砂轮槽组，其中一组为粗倒角砂轮槽组（3），另一组为精倒角砂轮槽组（4），每组砂轮槽组中均设置有至少一条砂轮槽；所述的粗倒角砂轮槽组（3）中的砂轮采用100‑1500目的金刚石砂轮；所述的精倒角砂轮槽组（4）中的砂轮采用500‑3000目的金刚石砂轮。
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