[实用新型]一种真空处理装置

摘要

本实用新型提供一种真空处理装置，用于对真空干燥设备内的待处理基板进行抽真空处理，该真空处理装置包括一干泵，真空处理装置还包括：用于对由真空干燥设备抽出的气体进行过滤，并使过滤后的气体进入干泵内的过滤装置；过滤装置包括：用于对由真空干燥设备抽出的气体进行冷却，以使气体中的杂质气体凝华和/或液化后排出的冷却单元，冷却单元的气体入口与真空干燥设备的气体出口连通，冷却单元的气体出口与干泵的气体入口连通。本实用新型所提供的真空处理装置，其结构简单，通过真空干燥设备与干泵之间设置一过滤装置，可以将真空干燥设备抽出的气体中杂质气体凝华或液化后排出掉，从而减少了进入干泵内的杂质气体，可以延长干泵的使用寿命。

主权项

一种真空处理装置，用于对真空干燥设备内的待处理基板进行抽真空处理，所述真空处理装置包括一干泵，其特征在于，所述真空处理装置还包括： 用于对由所述真空干燥设备抽出的气体进行过滤，并使过滤后的气体进入干泵内的过滤装置； 所述过滤装置包括： 用于对由所述真空干燥设备抽出的气体进行冷却，以使气体中的杂质气体凝华和/或液化后排出的冷却单元，所述冷却单元的气体入口与所述真空干燥设备的气体出口连通，所述冷却单元的气体出口与所述干泵的气体入口连通。