[实用新型]一种晶片腐蚀用坩埚装置有效
| 申请号： | 201420141355.8 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203741460U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘云青;宁敏;高玉强 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250118 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种全新的晶片腐蚀用坩埚装置，包括带有保护盖的腐蚀坩埚和放置在坩埚内的晶片承载装置，所述的腐蚀坩埚上部带有保护盖，所述保护盖与坩埚顶端开口对应，且保护盖上下两侧均设置有挂钩，所述的晶片承载装置为采用镍金属丝编织的网桶，桶内设置有倾斜向下的多层网格，所述的网格也采用镍金属编织而成；综合上述的改进，本实用新型的技术方案实现了对多片晶片的同时腐蚀，提高能量和腐蚀剂利用率，实现了对腐蚀时间和腐蚀温度的更精确控制，改善了整体装置的安全性，提高了实际腐蚀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 腐蚀 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片腐蚀用坩埚装置，其特征在于：包括带有保护盖（4）的腐蚀坩埚（1）和放置在坩埚（1）内的晶片承载装置，所述的腐蚀坩埚（1）上部带有保护盖（4），所述保护盖（4）与坩埚（1）顶端开口对应，且保护盖上下两侧均设置有挂钩（5）和（6）；所述的晶片承载装置包括采用镍金属丝编织的网桶（9），网桶（9）内设置有倾斜向下的多层镍金属丝编织网格（10）；所述的网桶（9）顶部通过镍制的锁链（8）连接有挂钩（7）；所述坩埚（1）内还设置有镍制热电偶保护装置（3），其内设置有热电偶（2）。
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