[实用新型]可靠性测试结构有效
| 申请号： | 201420147278.7 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN203800037U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 周华阳;宋永梁;程凌霄 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种可靠性测试结构，该测试结构包括衬底，所述衬底中包括有源区结构；栅极结构，所述栅极结构位于所述衬底上，并横跨于所述有源区结构之上，所述栅极结构与所述有源区结构呈十字排列。本实用新型的测试结构能节约晶圆的面积，减少测试次数。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种可靠性测试结构，其特征在于，包括： 衬底，所述衬底中包括有源区结构； 栅极结构，所述栅极结构位于所述衬底上，并横跨于所述有源区结构之上，所述栅极结构与所述有源区结构呈十字排列。
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