[实用新型]涡旋真空泵

摘要

涡旋泵具有在泵的定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封。涡旋泵可具有压载气体供给系统和使用压载气体供给系统的运行以评估尖端密封的状况。可替代地，涡旋密封在沿着泵的压缩机构间隔开的两个位置可具有检测压力的两个压力传感器，用以评估尖端密封的状况。

主权项

一种涡旋泵包括： 具有泵入口的入口部和包括泵出口的排出部，流体由泵吸入所述泵入口中，流体通过所述泵出口从泵排出； 构架； 固定于构架并且包括定盘的定盘涡旋，和从定盘突出的定涡旋叶片； 包括动盘的动盘涡旋，和从动盘轴向地突出的动涡旋叶片， 定涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从定盘的中心部发出的连续的卷，动涡旋叶片具有螺旋的形式，包括多个从动盘的中心发出的连续的卷，并且动定涡旋叶片嵌套； 插在定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封； 由构架支承的偏心驱动机构，并且动盘涡旋联接于偏心驱动机构从而在围绕泵的纵向轴线的轨道上由偏心驱动机构驱动， 其中在动盘涡旋相对于定盘涡旋的轨道运动期间，一系列腔被同时地限定在嵌套的定涡旋叶片和动涡旋叶片之间，一系列腔构成泵的压缩机构，各个腔选择性地并且顺次地与泵入口和泵出口开放连通，被限制在腔中的流体受到压缩的压缩过程发生在腔与泵入口开放连通的时间点和腔与泵出口开放连通的之后时间点之间； 压载气体供给系统，用来相对于流体流过泵的方向在靠近压缩机构下游端的位置供给压载气体流到泵的压缩阶段中；以及 控制装置，配置成基于当压载气体供给系统不能使用并且不供给压载气体到泵的压缩机构中时沿着流动方向的位置泵中检测的流体的第一压强和当压载气体供给系统能够使用并且供给压载气体到压缩机构中时在所述位置检测的流体的压强来计算监控压强值， 从而对比监控压强值和参考压强值；并且 当监控压强值和参考压强至少相差预定量时，输出指示需要替换尖端密封的信号。