[实用新型]一种用于监测硅棒的生长直径的装置有效
申请号: | 201420152952.0 | 申请日: | 2014-03-31 |
公开(公告)号: | CN203811088U | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 杨勇;谭忠芳;呼维军;梁立刚;王文 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | G01B5/08 | 分类号: | G01B5/08 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于监测硅棒的生长直径的装置,包括石墨卡帽和垂直安装于石墨卡帽之上的监测棒,所述监测棒和石墨卡帽的轴心平行设置,且所述监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离略大于硅棒的预设半径,所述硅棒形成于石墨卡帽的轴心位置处。本实用新型所述用于监测硅棒的生长直径的装置能够很好地监测硅棒,尤其是原料硅棒的生长直径。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 监测 生长 直径 装置 | ||
【主权项】:
一种用于监测硅棒的生长直径的装置,其特征在于,包括石墨卡帽和垂直安装于石墨卡帽之上的监测棒,所述监测棒和石墨卡帽的轴心平行设置,且所述监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离略大于硅棒的预设半径,所述硅棒形成于石墨卡帽的轴心位置处。
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