[实用新型]一种并联接触式RF MEMS开关有效
| 申请号： | 201420153389.9 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN203910941U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 杨俊民 | 申请（专利权）人： | 苏州锟恩电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/10 | 分类号： | H01P1/10;H01H59/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种并联接触式RF MEMS开关，其特征在于：包括包括衬底，设于衬底上的CPW地线，与CPW地线连接的金属桥膜，在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线，在CPW信号线上设有接触点。并联接触式RFMEMS开关具有较低的工作频率，甚至可以控制直流信号；并且利用低应力电镀Au桥膜作为上电极，实现了接触电极之间的Au--Au接触，使其具有较低的插入损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 并联 接触 rf mems 开关 | ||
【主权项】：
一种并联接触式RF MEMS开关，其特征在于：包括包括衬底，设于衬底上的CPW地线，与CPW地线连接的金属桥膜，在金属桥膜的下方设有下拉电极与CPW信号线，在CPW信号线上设有接触点。
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