[实用新型]生长氧化物单晶体的热场装置

摘要

生长氧化物单晶体的热场装置，包括坩埚，置于热场中央，坩埚外有保温筒、石英管和感应线圈，上方设有保温罩和ZrO₂盖，保温罩外安装泡沫砖，泡沫砖上开有观察隧道口，下方有不同材料套装组成的底托，在保温筒和石英管之间有氧化锆粘，热场的保温筒、石英管、底托都分别由体积较小的多块叠装组成，这种结构不容易炸裂和损坏，损外的更换量小。本技术的热场装置观察隧道较长，不易受到外界温度的影响，热场内的温度梯度小，温度平稳恒定，晶体不容易炸裂，温场的保温性、气密性和稳固性较好，对设备和原料的损耗小，提拉晶体的成品率、成功率高，成本低。

主权项

生长氧化物单晶体的热场装置，在坩埚（6）外同心设置有感应线圈（8），坩埚（6）上方设有保温罩（2），保温罩（2）呈圆筒形，保温罩（2）的筒壁上开有观察隧道口（13），保温罩（2）上方安装ZrO₂盖（1）,其特征在于：保温罩（2）外安装有Al₂O₃泡沫砖（12），观察隧道口（13）穿过AI₂O₃泡沫砖（12），坩埚（6）外同心安装有ZrO₂保温筒（3），保温筒（3）呈圆筒形，保温筒（3）由多块叠装在一起组成，保温筒（3）外安装石英管（4），石英管（4）由上下两块组装在一起，在保温筒（3）和石英管（4）之间安装有氧化锆粘层（5），坩埚（6）底部下方叠装有两块ZrO₂底托（7），ZrO₂底托（7）呈长方形，ZrO₂底托（7）下方设有两块Al₂O₃底托（9）， Al₂O₃底托(9)呈倒置的杯形套装在一起组成，Al₂O₃底托(9)下方套装石英底托（10），石英底托（10）下方套装黄铜底托（11）。