[实用新型]一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图有效
| 申请号： | 201420167543.8 | 申请日： | 2014-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN203894532U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 崔碧峰;李佳莼;徐旭红;计伟 | 申请（专利权）人： | 北京牡丹电子集团有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图，包括划片槽和光刻标记，所述光刻版图上设置有用于解理的划片槽，所述划片槽围成光刻激光器图形区域，所述激光器图形区域上设置有光刻标记。本实用新型在半导体制造工艺中光刻版图上设置光刻标记，能够使激光器封装中更容易区分激光器管芯的放置方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 辅助 激光器 封装 辨识 光刻 版图 | ||
【主权项】：
一种用于辅助激光器封装辨识的光刻版图，其特征在于：包括划片槽（1）和光刻标记（3），所述光刻版图上设置有划片槽（1），所述划片槽（1）围成光刻激光器图形区域（2），所述光刻激光器图形区域（2）上设置有光刻标记（3）。
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