[实用新型]一种光学准直装置

摘要

公开了一种光学准直装置。聚焦机构包括聚焦元件和将聚焦元件可调节地固定在第二支架的第一安装组件，接收机构包括接收元件和将接收元件可调节地固定到第三支架的第二安装组件，其中，第一安装组件被配置成使光束精准地定位到聚焦元件上，第二安装组件被配置成使聚焦元件聚焦的光束精准地定位到接收元件上。本实用新型可以满足测量设备，尤其是半导体测量设备，对聚焦元件和接收元件的高位置精度的要求。

主权项

一种光学准直装置，其包括第一支架、第二支架和第三支架，其中，所述第二支架和所述第三支架间隔开地固定到所述第一支架上，所述第二支架用于承载聚焦机构，所述第三支架用承载接收机构，其特征在于，所述聚焦机构包括聚焦元件和将所述聚焦元件可调节地固定在所述第二支架的第一安装组件，所述接收机构包括接收元件和将所述接收元件可调节地固定到所述第三支架的第二安装组件，其中，所述第二支架根据未聚焦光束的路径被配置以使光束粗略地定位到所述聚焦元件上，所述第三支架根据所述聚焦元件聚焦的光束被配置以使所述聚焦元件聚焦的光束粗略地定位到所述接收元件上，并且所述第一安装组件被配置成使光束精准地定位到所述聚焦元件上，所述第二安装组件被配置成使所述聚焦元件聚焦的光束精准地定位到所述接收元件上。