[实用新型]磁性装置和OLED蒸镀装置有效
| 申请号： | 201420192576.8 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN203807546U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;高浩然;于建伟;殷杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁性装置和OLED蒸镀装置。所述磁性装置，用于在OLED蒸镀装置中吸附金属掩膜，包括：金属板；包括多个电磁铁的电磁铁阵列，每一所述电磁铁插置于所述金属板上；每一所述电磁铁的两磁极分别位于所述金属板的两侧；用于提供电流的供电模块，与所述电磁铁阵列连接；用于在进行OLED蒸镀过程中吸附金属掩膜时，通过向所述供电模块发送第一控制信号，以控制所述供电模块向所述多个电磁铁中的全部或部分加入直流电流，并控制该直流电流的方向和大小的控制模块，与所述供电模块连接。本实用新型可以在OLED蒸镀时改变用于吸附金属掩膜的磁场强度和磁极排布。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 装置 oled | ||
【主权项】：
一种磁性装置，用于在OLED蒸镀装置中吸附金属掩膜，其特征在于，包括：金属板；包括多个电磁铁的电磁铁阵列，每一所述电磁铁插置于所述金属板上；每一所述电磁铁的两磁极分别位于所述金属板的两侧；用于提供电流的供电模块，与所述电磁铁阵列连接；用于在进行OLED蒸镀过程中吸附金属掩膜时，通过向所述供电模块发送第一控制信号，以控制所述供电模块向所述多个电磁铁中的全部或部分加入直流电流，并控制该直流电流的方向和大小的控制模块，与所述供电模块连接。
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