[实用新型]一种多腔室石墨沉积装置及化学气相沉积炉

摘要

本实用新型公开一种多腔室石墨沉积装置，包括收尘机构、具有两个以上沉积室的沉积机构以及用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给机构，所述收尘机构设有用于收集所述沉积室逸出的粉尘的收尘容器以及用于供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述收尘容器的收尘通道。本实用新型由于设置具有两个以上沉积室的沉积机构，设置的原料供给机构用来盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料，因而相比于单腔室沉积组件能使产量大为提高；设置的收尘机构使得沉积过程中产生的粉尘能够在经过收尘通道时或经过后在收尘容器中沉淀下来被收集，减少向外排放的量，使沉积过程能够顺利进行，又能尽量减少对环境的污染。本实用新型还公开一种化学气相沉积炉。

主权项

一种多腔室石墨沉积装置，其特征在于，包括收尘机构、具有两个以上沉积室的沉积机构以及用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给机构，所述收尘机构设有用于收集所述沉积室逸出的粉尘的收尘容器以及用于供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述收尘容器的收尘通道。