[实用新型]硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装有效
申请号: | 201420196291.1 | 申请日: | 2014-04-21 |
公开(公告)号: | CN203818358U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 马莹;韩侠 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片脱胶隔板,包括主体,主体具有相对的第一端部和第二端部,第一端部上开设有第一侧面开口槽,第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽,第二端部上开设有第二侧面开口槽。相对于传统的硅片脱胶隔板,本实用新型的硅片脱胶隔板的第一侧面开口槽和第二侧面开口槽设置在硅片脱胶隔板的相对的侧面上,硅片脱胶隔板安装至第二脱胶工装连接杆时,硅片脱胶隔板将第一侧面开口槽和第一开口槽插到脱胶工装连接杆上的操作是在两个硅片之间完成的,本实用新型还涉及一种包括上述硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装,避免及减少员工在传统的插片过程中从硅片外侧挂入第二脱胶工装连接杆上时导致的缺角、碎片问题,提高切割良品率。 | ||
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【主权项】:
一种硅片脱胶隔板,包括主体,所述主体具有相对的第一端部和第二端部,其特征在于,所述第一端部上开设有第一侧面开口槽,所述第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽,所述第二端部上开设有第二侧面开口槽。
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