[实用新型]一种柔性OLED专用薄膜封装设备

摘要

一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，所述的进口连接腔通过模块化连接着第一转换腔；所述第一转换腔通过中间起着传送基片作用的过渡腔连接着第二转换腔；所述第一转换腔和第二转换腔的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块和有机沉积模块；所述第一转换腔和第二转换腔的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境；它能在保证镀膜工艺的要求下设备采用二维直线构架,可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配。

主权项

一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，其特征在于所述的进口连接腔（1）通过模块化连接着第一转换腔（2）；所述第一转换腔（2）通过中间起着传送基片作用的过渡腔（4）连接着第二转换腔（8）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块（3）和有机沉积模块（6）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境。