[实用新型]砂浆转运装置有效
申请号: | 201420203083.X | 申请日: | 2014-04-24 |
公开(公告)号: | CN203779718U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 龙峰;崔盼;陈熙 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 陆林生 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种砂浆转运装置,涉及半导体材料加工设备技术领域,包括底座、砂浆中转罐、第一隔膜泵和第二隔膜泵,第一隔膜泵出口与砂浆中转罐进料管相连,砂浆中转罐下部的砂浆中转罐出料管与第二隔膜泵的进料口相连,砂浆中转罐上罐盖的进料口与砂浆中转罐进料管连通,罐盖进料口设过滤桶。通过砂浆中转罐罐盖进料口设置的过滤桶,在利用第一隔膜泵回收砂浆时,砂浆经第一隔膜泵输送至砂浆中转罐进料管,再经罐盖进料口的过滤桶进入砂浆中转罐,砂浆得到过滤,使回收的砂浆得到净化,保证硅片切割质量。本实用新型具有结构紧凑、可提高砂浆洁净度、保证硅片切割质量的结构紧凑、可提高回收砂浆的洁净度、保证硅片切割质量的优点。 | ||
搜索关键词: | 砂浆 转运 装置 | ||
【主权项】:
一种砂浆转运装置,包括底座(1),设置在底座(1)上的砂浆中转罐(2)、第一隔膜泵(12)和第二隔膜泵(4),所述第一隔膜泵(12)出口与砂浆中转罐进料管(6)相连,所述砂浆中转罐(2)下部设有砂浆中转罐出料管(11),所述砂浆中转罐出料管(11)与第二隔膜泵(4)的进料口相连,其特征在于:所述砂浆中转罐(2)上设罐盖(8),所述罐盖(8)的进料口与砂浆中转罐进料管(6)连通,所述砂浆中转罐(2)的罐盖(8)进料口设有过滤桶(9)。
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