[实用新型]差动电容式甲烷浓度传感结构有效
| 申请号： | 201420203826.3 | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN203786076U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张渤 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710054 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种差动电容式甲烷浓度传感结构，包括第一固定柱和第二固定柱，第一固定柱上安装有第一悬臂梁，第一悬臂梁上设置有沿第一悬臂梁长度方向间隔布设的多个第一电极板，第二固定柱上安装有第二悬臂梁，第二悬臂梁上设置有沿第二悬臂梁长度方向间隔布设的多个第二电极板，多个所述第一电极板和多个所述第二电极板相互交错布设，相邻的第一电极板和第二电极板构成电容；第一悬臂梁包括变形层、设置在变形层上的加热层和设置在加热层上且用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层。该甲烷浓度传感结构的结构简单、能够将甲烷浓度转换为差动电容大小改变量，为间接测量甲烷浓度提供了基础，且灵敏度高，体积小，检测结果不受环境影响。 | ||
| 搜索关键词： | 差动 电容 甲烷 浓度 传感 结构 | ||
【主权项】：
差动电容式甲烷浓度传感结构，其特征在于：包括第一固定柱(3)和第二固定柱(6)，所述第一固定柱(3)上安装有第一悬臂梁(2)，所述第一悬臂梁(2)上设置有沿第一悬臂梁(2)长度方向间隔布设的多个第一电极板(4)，所述第二固定柱(6)上安装有第二悬臂梁(5)，所述第二悬臂梁(5)上设置有沿第二悬臂梁(5)长度方向间隔布设的多个第二电极板(7)，多个所述第一电极板(4)和多个所述第二电极板(7)相互交错布设，相邻的第一电极板(4)和第二电极板(7)构成电容；所述第一悬臂梁(2)包括变形层(2‑1)、设置在变形层(2‑1)上的加热层(2‑3)和设置在加热层(2‑3)上且用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层(2‑4)。
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