[实用新型]基于光学干涉法的甲烷浓度传感结构有效
| 申请号： | 201420204258.9 | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN203786036U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张渤;王守华 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710054 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于光学干涉法的甲烷浓度传感结构，包括V型梁、半导体激光器和第一全反射镜以及第二全反射镜和光电二极管；第一全反射镜和半导体激光器之间设置分光板，第一全反射镜安装在V型梁的中部；V型梁包括第一变形层、第二变形层、加热层和设置在加热层上且用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层；第一全反射镜与分光板之间设置有第一传输光纤，第二全反射镜与分光板之间设置有第二传输光纤，半导体激光器与分光板之间设置有第三传输光纤，分光板与光电二极管之间设置有第四传输光纤。该甲烷浓度传感结构的结构简单、能够将甲烷浓度转换为光干涉后明暗条纹的变换次数，为间接测量甲烷浓度提供了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 干涉 甲烷 浓度 传感 结构 | ||
【主权项】：
基于光学干涉法的甲烷浓度传感结构，其特征在于：包括V型梁(12)、相对设置的半导体激光器(7)和第一全反射镜(2)以及相对设置的第二全反射镜(4)和光电二极管(9)；所述第二全反射镜(4)位于所述半导体激光器(7)和第一全反射镜(2)连线的一侧，所述光电二极管(9)位于所述半导体激光器(7)和第一全反射镜(2)连线的另一侧，所述第一全反射镜(2)和半导体激光器(7)之间设置有分光板(10)，且所述分光板(10)位于第二全反射镜(4)和光电二极管(9)之间，所述第一全反射镜(2)安装在所述V型梁(12)的中部；所述V型梁(12)包括第一变形层(12‑1)、设置在第一变形层(12‑1)上且与第一变形层(12‑1)热膨胀系数不同的第二变形层(12‑2)、设置在第二变形层(12‑2)上的加热层(12‑3)和设置在加热层(12‑3)上且用于与甲烷气体发生无焰燃烧的催化剂层(12‑4)；所述第一全反射镜(2)与分光板(10)之间设置有第一传输光纤(3)，所述第二全反射镜(4)与分光板(10)之间设置有第二传输光纤(5)，所述半导体激光器(7)与分光板(10)之间设置有第三传输光纤(6)，所述分光板(10)与光电二极管(9)之间设置有第四传输光纤(8)。
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