[实用新型]一种内循环型石墨舟清洗装置

摘要

本实用新型提供一种内循环型石墨舟清洗装置，包括湿法刻蚀机、储酸池和石墨舟清洗机三部分，所述湿法刻蚀机底部的氢氟酸排液口通过管道与储酸池连通，储酸池与石墨舟清洗机之间通过管道连接，所述储酸池上设有溢流口，所述石墨舟清洗机上设有溢流口、纯水管道、排风管道和排酸口，所述储酸池的溢流口、石墨舟清洗机的溢流口和排酸口通过管道与废酸排放管道相连，所述连通储酸池和石墨舟清洗机的管道上设有隔膜泵，所述石墨舟清洗机上的纯水管道上和石墨舟清洗机的排酸口设有截止阀。本实用新型的有益效果是：本实用新型无需添加新鲜的氢氟酸溶液，减低成本，同时加液时无需人工操作，提高了操作安全性。

主权项

一种内循环型石墨舟清洗装置，其特征在于：包括湿法刻蚀机(1)、储酸池(2)和石墨舟清洗机(6)三部分，所述湿法刻蚀机(1)底部的氢氟酸排液口通过管道与储酸池(2)连通，储酸池(2)与石墨舟清洗机(6)之间通过管道连接，所述储酸池(2)上设有溢流口(3)，所述石墨舟清洗机(6)上设有溢流口(10)、纯水管道(7)、排风管道(9)和排酸口(11)，所述储酸池(2)的溢流口(3)、石墨舟清洗机(6)的溢流口(10)和排酸口(11)通过管道与废酸排放管道(4)相连。