[实用新型]一种流强可调的真空弧离子源有效
| 申请号： | 201420218057.4 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN203787380U | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 蓝朝晖;龙继东;郑乐;杨振;董攀;彭宇飞;李杰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种流强可调的真空弧离子源，包括阳极（1）、阴极（4）、触发极（2）、阴极-触发绝缘体（3）、主弧电源（6），所述阴极（4）和阳极（1）均连接到主弧电源（6）上，且各连接主弧电源（6）的一个电极，所述触发极（2）与阴极（4）通过阴极-触发绝缘体（3）隔开，还包括可调电阻（5），所述可调电阻（5）连接在触发极（3）和阳极（1）之间，本实用新型的离子源不需要调节电源参数、不必改变主弧放电电流，只需调节可调电阻就可以实现离子流在较大范围内变化，具有结构简单紧凑、成本低、调节范围大等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 真空 离子源 | ||
【主权项】：
一种流强可调的真空弧离子源，包括阳极（1）、阴极（4）、触发极（2）、阴极‑触发绝缘体（3）、主弧电源（6），所述阴极（4）和阳极（1）均连接到主弧电源（6）上，且各连接主弧电源（6）的一个电极，所述触发极（2）与阴极（4）通过阴极‑触发绝缘体（3）隔开，其特征在于，还包括可调电阻（5），所述可调电阻（5）连接在触发极（3）和阳极（1）之间。
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